自新中國成立以來(lái)，上海微系統所獲得國家級科技獎項46項、省部級347項。其中“甲種分離膜”技術(shù)獲國家科技進(jìn)步特等獎，“高速、超高速雙級型數字集成電路”、“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”獲得國家科技進(jìn)步一等獎。
上世紀50年代，上海微系統所在國內率先研制成功球墨鑄鐵，成功解決了包頭高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收問(wèn)題。60年代以后，上海微系統所在國內率先建立了超純金屬和III-V族化合物半導體材料研究基地和發(fā)展了微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門(mén)合作研制出國內第一塊工業(yè)實(shí)用PN結隔離集成電路、ECL高速電路、國內第一塊8位、16位微處理器等微電子器件，一些探索性、原創(chuàng )性的項目也取得了長(cháng)足進(jìn)展，為未來(lái)的發(fā)展打下了扎實(shí)基礎。
1998年6月，國務(wù)院科教領(lǐng)導小組批準中國科學(xué)院進(jìn)入知識創(chuàng )新工程試點(diǎn)，上海微系統所作為上海高技術(shù)研究發(fā)展基地五個(gè)成員之一，被列入首批啟動(dòng)單位。根據發(fā)展定位，研究所將原來(lái)以材料學(xué)科為主的研究方向調整到信息與通信領(lǐng)域，確定了“系統帶器件，器件帶材料”的發(fā)展戰略。進(jìn)入知識創(chuàng )新二期以后，根據中科院新時(shí)期辦院方針和研究所實(shí)際，上海微系統所將學(xué)科領(lǐng)域進(jìn)一步調整為“電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程”兩大重點(diǎn)，學(xué)科方向凝練為無(wú)線(xiàn)信息系統及網(wǎng)絡(luò )、微系統技術(shù)、信息功能材料與器件、微型與新型能源等。
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知識創(chuàng )新工程十年間，上海微系統所成功發(fā)射創(chuàng )新一號01、02和03星、“神舟七號”伴星，是我國微小衛星的重要研制基地；實(shí)施了上海世博會(huì )防入侵傳感網(wǎng)、浦東機場(chǎng)防入侵系統、太湖水質(zhì)監控傳感網(wǎng)、南水北調中線(xiàn)安防系統等物聯(lián)網(wǎng)應用示范工程，引領(lǐng)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)，推升為國家戰略性新興產(chǎn)業(yè)；研發(fā)出具有自主知識產(chǎn)權的寬帶無(wú)線(xiàn)通信系統，應用于汶川和玉樹(shù)抗震搶險、上海世博會(huì )等重大事件，在抗震救災、維穩、公共安全、數字化城市等方面發(fā)揮了不可替代作用；SOI材料實(shí)現產(chǎn)業(yè)化，填補國內空白，應用于國家重大關(guān)鍵工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是國內唯一一個(gè)具有國際先進(jìn)水平的國家級高端硅基材料產(chǎn)業(yè)化基地。
“十二五”期間，上海微系統所作為中科院第一個(gè)系統級型號任務(wù)的技術(shù)總體單位，突破了多功能復合傳感器等關(guān)鍵技術(shù)，確立了特種寬帶無(wú)線(xiàn)傳感網(wǎng)系統解決方案，實(shí)現了在我國相關(guān)單元的大規模應用和通信體制由窄帶向寬帶的技術(shù)跨越。研制成功國內第一顆基于SOI材料的0.13um工藝大規模高可靠專(zhuān)用集成電路ASIC芯片，應用于北斗導航衛星等國家關(guān)鍵工程，為我國航天核心元器件的自主可控奠定堅實(shí)基礎。超導單光子探測器SNSPD助力中科大潘建偉院士在國際上首次實(shí)現防止黑客攻擊的200公里測量器件無(wú)關(guān)量子密鑰分發(fā)，成果入選兩院院士評選2014年中國十大科技進(jìn)展。超高g加速度傳感器為我國戰略裝備提供了不可替代產(chǎn)品，打破國際禁運。發(fā)起設立的MEMS技術(shù)產(chǎn)業(yè)化平臺-上海微技術(shù)工業(yè)研究院被列為上海建設具有全球影響力科創(chuàng )中心的“四梁八柱”。
“十三五”期間，基于研究所在高端硅基材料方向的深厚積累以及SOI產(chǎn)業(yè)化的成功經(jīng)驗，發(fā)起成立上海硅產(chǎn)業(yè)集團，解決了國產(chǎn)大硅片有無(wú)問(wèn)題，上海硅產(chǎn)業(yè)集團于2020年科創(chuàng )板上市；建成超導電子學(xué)卓越創(chuàng )新中心，單光子探測技術(shù)全球領(lǐng)先，助力“九章”實(shí)現量子優(yōu)越，為我國光量子信息技術(shù)保持國際領(lǐng)先水平發(fā)揮了不可替代作用；成功實(shí)現我國特種通信從窄帶向寬帶的跨越，孵化的瀚訊公司于2019年在深圳創(chuàng )業(yè)版上市; 特種傳感網(wǎng)技術(shù)實(shí)現列裝，達西方發(fā)達國家同等水平；相變存儲器新材料成果在Science上發(fā)表，嵌入式芯片實(shí)現小批量生產(chǎn)。初步建成以研究所為創(chuàng )新平臺、微技術(shù)工業(yè)研究院為轉化平臺、新微集團為科技金融服務(wù)平臺的協(xié)同創(chuàng )新體系的“三位一體”創(chuàng )新模式，獲國務(wù)院“國家級雙創(chuàng )示范基地”和科技部“傳感器國家專(zhuān)業(yè)化眾創(chuàng )空間”等榮譽(yù)稱(chēng)號。
