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    研究室簡(jiǎn)介

    傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗室經(jīng)國家計委批準于1987年成立,1989年通過(guò)國家驗收,是我國傳感技術(shù)領(lǐng)域最早建立的國家重點(diǎn)實(shí)驗室。實(shí)驗室在微納制造技術(shù)和新型傳...

    研究方向
    • 微納傳感器設計與制造技術(shù)

      研究各種物理傳感器(包括力學(xué)量、運動(dòng)量、聲學(xué)、熱、電磁、光學(xué)、以及光纖傳感器)研究各種氣體傳感器、化學(xué)傳感器和生物傳感器

    • MEMS/MEMS技術(shù)

      研究體硅微機械加工、表面微機械加工、準LIGA加工技術(shù)和各種非硅微加工技術(shù) 研究先進(jìn)封裝工藝和納機械結構制造技術(shù)

    • 敏感效應、機制與材料研究

      研究各種先進(jìn)傳感器用納米敏感材料技術(shù)和新敏感效應 研究納米敏感結構的尺度效應,利用超靈敏傳感器研究界面分子熱力學(xué)與動(dòng)力學(xué)機制

    • 傳感微系統芯片技術(shù)

      基于微納米集成技術(shù)研究各種微納流控芯片、生化檢測芯片及預處理芯片,研究傳感微系統技術(shù)和陣列多傳感器的聯(lián)合檢測技術(shù)

    科研裝備