研究各種物理傳感器(包括力學(xué)量、運動(dòng)量、聲學(xué)、熱、電磁、光學(xué)、以及光纖傳感器)研究各種氣體傳感器、化學(xué)傳感器和生物傳感器
研究體硅微機械加工、表面微機械加工、準LIGA加工技術(shù)和各種非硅微加工技術(shù) 研究先進(jìn)封裝工藝和納機械結構制造技術(shù)
研究各種先進(jìn)傳感器用納米敏感材料技術(shù)和新敏感效應 研究納米敏感結構的尺度效應,利用超靈敏傳感器研究界面分子熱力學(xué)與動(dòng)力學(xué)機制
基于微納米集成技術(shù)研究各種微納流控芯片、生化檢測芯片及預處理芯片,研究傳感微系統技術(shù)和陣列多傳感器的聯(lián)合檢測技術(shù)