所長(cháng)：謝曉明
謝曉明同志出生于1965年1月，江蘇省盱眙縣人， 1990年7月參加工作，博士，研究員。1981年－1985年就讀于武漢大學(xué)物理系，獲學(xué)士學(xué)位。1985年-1990在中國科學(xué)院上海冶金研究所（現上海微系統所）攻讀碩士和博士，1990年獲博士學(xué)位。
1990年7月-1995年12月任上海微系統所助理研究員、副研究員， 其中1993年3月-1995年11月在法國巴黎工業(yè)物理化學(xué)高等工程師學(xué)校（ESPIC）做訪(fǎng)問(wèn)學(xué)者，1995年12月起任上海微系統所研究員，1998年3月-1999年12月任 上海微系統所四室副主任，1999年12月-2005年5月受研究所外派擔任上海新代車(chē)輛技術(shù)有限公司部門(mén)經(jīng)理，2005年5月起任信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗室副主任，2014年3月起任超導實(shí)驗室主任，2014年6月起任上海微系統所所長(cháng)助理，2015年9月任上海微系統所副所長(cháng),2019年5月起任上海微系統所副所長(cháng)、法定代表人。2021年2月起任上海微系統所所長(cháng)。
黨委書(shū)記、副所長(cháng)：狄增峰
狄增峰同志出生于1979年4月，江蘇省南通海安人， 2010年9月參加工作，工學(xué)博士，研究員。1997－2001年就讀于南京大學(xué)基礎學(xué)科教學(xué)強化部（現匡亞明學(xué)院），獲學(xué)士學(xué)位。2001-2006年在中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所攻讀碩士和博士（期間，2004年3月至2005年9月在香港城市大學(xué)物理與材料科學(xué)系進(jìn)行聯(lián)合培養），2006年獲工學(xué)博士學(xué)位。 2006-2010年在美國能源部Los Alamos國家實(shí)驗室從事博士后研究工作。2010年9月作為海外杰出人才引進(jìn)，被上海微系統所聘為研究員。2016年4月-2017年8月?lián)紊虾Ｎ⑾到y所信息功能材料實(shí)驗室副主任。2017年8月起任上海微系統所科研部部長(cháng)，2018年5月起任上海微系統所所長(cháng)助理（期間，2018年4月-2018年7月，中國科學(xué)院黨校管理骨干培訓班學(xué)員；2019年3月-2019年7月，中央黨校中青年干部培訓班學(xué)員）。2019年7月起任上海微系統所副所長(cháng)，2023年7月起任上海微系統所黨委書(shū)記，副所長(cháng)。
紀委書(shū)記：陳豐偉
陳豐偉同志出生于1978年8月，福建莆田人，2004年7月參加工作，華東師范大學(xué)教育經(jīng)濟與管理專(zhuān)業(yè)研究生畢業(yè)，碩士，四級職員。
2004年7月－2013年2月為中科院上海分院九級、八級、七級職員，先后任上海分院組織人事處處長(cháng)助理、副處長(cháng)，上海分院團委常務(wù)副書(shū)記；2013年2月－2017年6月先后任中科院上海分院黨群工作處兼監察審計處副處長(cháng)（主持工作），紀檢組組長(cháng)助理，機關(guān)與直屬單位黨委副書(shū)記、紀委書(shū)記，上海分院工會(huì )常務(wù)副主席，上海分院團委書(shū)記；2017年5月-2021年2月任中科院上海巴斯德所黨委副書(shū)記、紀委書(shū)記；2021年2月起任中科院上海微系統所紀委書(shū)記。
副所長(cháng)：陶虎
陶虎同志出生于1982年4月，江西省南昌人， 2014年5月參加工作，工學(xué)博士，研究員。1998－2003年就讀于中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)，獲學(xué)士學(xué)位；2003-2006年就讀于中國科學(xué)院電子學(xué)研究所，獲碩士學(xué)位；2006-2010年就讀于美國波士頓大學(xué)，獲博士學(xué)位。 2010 - 2012年在美國塔夫茨大學(xué)從事博士后研究工作；2012-2014年在美國塔夫茨大學(xué)任研究助理教授；2014作為中組部海外高層次人才引進(jìn)，被上海微系統所聘為研究員。2017年4月起任傳感技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗室副主任，2019年11月起任上海微系統所所長(cháng)助理，2020年3月起任2020前沿實(shí)驗室主任，2020年7月起任上海微系統所所務(wù)委員，2021年2月起任上海微系統所副所長(cháng)。
副所長(cháng)：俞文杰
俞文杰同志出生于1983年7月，上海人，2011年6月參加工作，博士，研究員。2001年-2005年就讀于復旦大學(xué)材料物理專(zhuān)業(yè)，獲學(xué)士學(xué)位。2005年-2011年就讀于中國科學(xué)院上海微系統與信息技術(shù)研究所，獲博士學(xué)位，其間2009年-2011年，獲國家留學(xué)基金委資助，作為聯(lián)合培養博士生在德國于利希研究中心學(xué)習。2011年6月起，歷任上海微系統所助理研究員、副研究員、研究員。2019年11月起，任上海微系統所所長(cháng)助理、戰略研究室主任。2020年6月起，任上海集成電路材料研究院有限公司董事長(cháng)、總經(jīng)理。2020年7月起，任上海微系統所所務(wù)委員、戰略研究室主任。2020年12月起，任上海微系統所所務(wù)委員、戰略研究室主任、硅基材料與集成器件實(shí)驗室代理主任。2021年11月起，任上海微系統所所務(wù)委員、硅基材料與集成器件實(shí)驗室主任、黨總支書(shū)記。2022年10月起，任上海微系統所副所長(cháng)。
